С 11 апреля по 14 августа 1947 года в лагере для интернированных в Дахау, где до конца апреля 1945 располагался концлагерь Дахау проходил суд или Бухенвальдский процесс над 31 человеком, обвиняемом в совершении военных преступлений в концентрационном лагере Бухенвальд и его внешних лагерях. Суд состоял из 8 офицеров армии США во главе генерал-майором Чарльзом Килем. Во время заседания присутствовали репортеры международной прессы. Подсудимым были доступны американские или немецкие адвокаты. После вступительной речи и оглашения обвинительного заключения все подсудимые не признали себя виновными. После заслушивания свидетелей и ознакомления с доказательствами были даны показания подсудимых, за которыми последовал перекрестный допрос. Шесть подсудимых обвинялись в совершении преступлений, связанных с маршами смерти совершенные в процессе эвакуации из лагеря. Врачам и медицинскому персоналу лагеря были предъявлены обвинения в жестоком обращении, отборе и, в некоторых случаях, убийстве заключенных. Комендантский штаб был обвинен за создание катастрофических условий в лагере, которые приводили к смерти заключенных, в жестоком и бесчеловечном обращении. Трое капо, а именно старейшина лагеря, тюремный врач и старший санитар, были обвинены в жестоком обращении с заключенными. Подсудимые преуменьшали значение этих действий, ссылались на императив приказа или отрицали свое присутствие на месте преступления в момент его совершения.
Судьи на процессе.
Ойген Когон, бывший узник Бухенвальда, свидетель от обвинения. 16 апреля 1947 г.
Йозеф Спектор, бывший узник Бухенвальда, показывает шрамы от жестокого обращения с ним. 9 мая 1947 года.
Приговор был объявлен 14 августа 1947 года. Было вынесено 22 смертных приговора, а также пять пожизненных и четыре срока тюремного заключения. После оглашения приговора осужденные были переведены в Ландсбергскую тюрьму. Именно там девять смертных приговоров были приведены в исполнение 19 и 26 ноября 1948 года через повешение. Герман Пистер умер от сердечного приступа в конце сентября 1948 года перед приведением приговора в исполнение. Мербаха казнили 14 января 1949 года.
За основным Бухенвальдским процессом последовали 24 дополнительных судебных процесса, 31 человеку было предъявлено обвинение. Судебные разбирательства проходили с 27 августа по 3 декабря 1947 года. Обвинения были предъявлены 28 членам СС и трем капо.